Использование оборудования: электронная пушка большой площади испаряет фотоэлектрическую пленку, оптическую пленку и пленку против отпечатков пальцев.
Машина для нанесения испарительного покрытия IKS-OPT2700 компании Aikos предназначена для быстрого получения оптических пленочных покрытий большой площади и однослойных / многослойно модифицированных поверхностных пленок. Эта машина представляет собой вертикальную машину для нанесения покрытия с одной полостью, которая представляет собой систему нанесения многослойных оптических пленок на основе испарение из электронной пушки.Основными продуктами этого оборудования являются испарительное осаждение многослойных оптических диэлектрических пленок и пленок с защитой от отпечатков пальцев, таких как цветные пленки видимого света, алюминиевые отражающие пленки, пленки с защитой от отпечатков пальцев AF, органические пленки с низкой температурой плавления, спектроскопические пленки видимого света, антибликовые пленки видимого света и т.д., также может быть отлажен и изготовлен для конкретных простых пленочных систем с оптическими характеристиками.
Особенности оборудования
1. Дизайн продукта – это бесшовная интеграция совершенной технологии Aikos и эксплуатационных характеристик продукта для создания надежной, стабильной, безопасной и интеллектуальной системы нанесения покрытий!
2. Получение вакуума, повторно оптимизируйте конструкцию системы получения вакуума, чтобы обеспечить быструю и стабильную вакуумную среду!
3. Источник испарения и источник ионов, разумная компоновка и высококачественная технология обработки, технология отладки, автоматическая регулировка технологического процесса, инновационная структура электронного пучка и точная скорость для обеспечения более точного и стабильного осаждения материала!
4.Автоматическая система управления работой, недавно разработанная точная и стабильная система!Прост в настройке и эксплуатации!
Краткое описание оборудования
IKS-OPT2700 – это машина для нанесения покрытий электронно-лучевым испарением, предназначенная для нанесения оптических пленок на большие площади.Система лакировочной машины состоит из вакуумной камеры, вакуумного насоса, системы обнаружения и контроля вакуума, системы нагрева подложки, системы испарения электронным лучом, системы осаждения с помощью ионного источника, системы испарения сопротивлением, системы контроля толщины пленки, системы регулирования расхода рабочего газа, системы вращения заготовки, а также автоматическое нанесение покрытия, управляемое ПЛК.
Редкие металлы обычно используются в испарительных материалах, таких как фторид иттрия, фторид празеодима, германий, сульфид цинка, фторид магния, диоксид титана, диоксид кремния, диоксид циркония, кобальт, галлий, селен и другие металлы.Медь, молибден, кремний, германий и другие металлы обычно используются в качестве отражающих оптических материалов.
Может быть покрыт цветной пленкой видимого света, алюминиевой светоотражающей пленкой, пленкой для автофокусировки отпечатков пальцев, органической пленкой с низкой температурой плавления, пленкой для спектроскопии видимого света, антибликовой пленкой видимого света и т.д.
Размер печи | Ф2700×H1670
|
工件架 | φ2650*H420mm
|
Вакуум | 极限真空:6×10-4Pa(24小时空载,不加热)
|
重量
|
8000kg,地板承重﹥1000kg/m2
|
Скорость утечки | <4×10-3Pa×L/S(氦捡漏)
|
温度
|
室温-250℃,温度均匀性±5%
|
рабочий вакуум | 6*10-3Pa(自动工艺启动 | 供电
|
三相电, 380V,50Hz,60-100KW
|
низкий вакуум | 10 分钟<10Pa
|
水冷 | 腔体流量大于4000l/h,泵组流量大于1800l/h 冷冻机流量大于1600l/h
|
высокий вакуум | 6 分钟<8×10-3Pa | 温水
|
蒸发源1800l/h,35-60℃ |
измерение вакуума | 全程监控,实时取点
|
占地 | L6×w5.5×H3.5m
|
приложение | 眼镜、反光镜、手机背板、防护罩、光通讯、光学显示等 |